Seperti yang kita semua tahu, hanya ada satu pabrikan di dunia, yang dapat memproduksi litografi EUV, yaitu ASML Belanda.
Dan alasan mengapa satu-satunya di dunia, ini karena ASML akan menjadi banyak pabrikan utama yang digabungkan menjadi satu, seperti perusahaan optik Jerman Zeiss (Zeiss), lalu Cymer Amerika Serikat, dan kemudian Tom Fast Group Jerman (TRUMPF ) dan seterusnya.
ASML telah mengikat pabrikan ini ke keretanya melalui investasi, akuisisi, kepemilikan saham, pendirian pusat penelitian, dan sebagainya, dan pabrikan ini, mungkin satu-satunya pabrikan di dunia yang dapat memproduksi produk ini, sehingga pada akhirnya hanya ASML yang mampu memproduksi litografi EUV. Di dalam dunia.
Namun, baru-baru ini, rantai pasokan utama ASML, berlari ke Shenzhen, Cina untuk membangun pabrik, anak perusahaannya di Shenzhen menetap di Taman Demonstrasi Industri Baoan Sino-Jerman (Eropa).
Pabrikan ini adalah Tom Fast Group (TRUMPF) Jerman, ini adalah litografi EUV ASML, satu-satunya pemasok sumber laser di dunia.
Produk TRUMPF dalam litografi EUV, seberapa penting? Pertama, izinkan saya menjelaskan prinsip litografi EUV, Anda akan mengerti.
Prinsip litografi EUV, sederhananya, berpusat pada tiga sistem utama, sistem sumber cahaya UV EUV, sistem lensa objektif, dan sistem meja.
Proses spesifiknya adalah dengan menggunakan laser untuk membangkitkan panjang gelombang sinar ultraviolet ekstrim 13,5 nm, dan kemudian setelah koreksi untuk membentuk sinar cahaya yang terkontrol, dan kemudian sinar cahaya ini diproyeksikan ke meja topeng foto, dan kemudian diproyeksikan melalui tujuan. cermin ke meja eksposur, dan akhirnya mengukir sirkuit pada wafer silikon yang dilapisi dengan photoresist.
Bagaimana salah satu sistem sumber sinar UV EUV diperoleh adalah dengan membombardir tetesan logam timah (Sn) dengan laser CO2 berdaya 30 kW, menguapkannya menjadi plasma, dan akhirnya mendapatkan sinar EUV dengan panjang gelombang 13,5 nm.
Laser CO2 30 kW ini disediakan oleh TRUMPF, satu-satunya di dunia.
Jangan remehkan laser CO2 ini, ia memiliki 457.329 bagian, panjang kabel dalam sistem hingga 7.322 meter, dan beratnya 17.090 kg, yang merupakan salah satu komponen inti terpenting dalam litografi EUV.
Sekarang TRUMPF berlari ke China untuk membangun pabrik, niatnya jelas, yaitu optimis tentang pasar laser China, dan bahkan pandangan jangka panjang, optimis tentang pasar litografi China, masa depan dapat bekerja sama dengan China untuk membangun litografi EUV .
Faktanya, sudah ada lebih dari satu rantai pasokan ASML yang berjalan ke China untuk membangun pabrik, sebelum ada KMWE dan pabrikan lain, juga ke China untuk membangun pabrik.
Menurut tren saat ini, kami dapat berharap dengan optimis bahwa mungkin tidak lama lagi teknologi litografi China akan menjadi langkah maju yang besar, dan bahkan volume keluaran litografi EUV, juga dapat diharapkan, menurut Anda?
